style="width:4.39998in;height:0.69344in" /> (1) 本文是学习GB-T 33336-2016 高纯工业品三氯氧磷. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们
本标准规定了高纯工业品三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和
贮存。
本标准适用于高纯工业品三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路
和超大规模集成电路芯片等的扩散源。
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件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 191 包装储运图示标志
GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备
GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T 6678 化工产品采样总则
GB/T 6680 液体化工产品采样通则
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 11446.1 电子级水
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB 50472 电子工业洁净厂房设计规范
HG/T 3606—2009 工业用三氯氧磷
分子式：POCl₃。
相对分子质量：153.33(按2013年国际相对原子质量)。
高纯工业品三氯氧磷分为两个等级：
——6N 级：纯度(基于阳离子)≥99.9999%,主要用于太阳能光伏电池扩散源。
——7N
级：纯度(基于阳离子)≥99.99999%,主要用于大规模集成电路(IC)、分离器件扩散源。
GB/T 33336—2016
5.2 高纯工业品三氯氧磷应符合表1要求。
表 1 要求
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GB/T 33336—2016
表 1 ( 续 )
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本试验方法中的样品及部分试剂具有毒性、腐蚀性，操作者须小心谨慎!如溅到皮肤上应立即用水
冲洗，严重者应立即治疗。使用易燃品时，严禁明火加热。
本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂。所用水为 GB/T
11446.1 规定的电子级
水，25℃在线电导率不大于0 .0055 mS/m。
试验中所用标准滴定溶液、制剂及制品，在没有注明其他
要求时，均按照 GB/T 601 、GB/T603
的规定配制。电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS) 操 作 和 颗 粒 测
定均需在不低于GB 50472 中 规 定 的 1 0 0 0 级 洁 净 室 进 行 ， 其 溶
液 的 配 制 及 样 品 的 处 理 宜 在 不 低 于
GB 50472 中规定的100级环境下进行。
6.3 三氯氧磷质量分数的测定和废液处置
按 HG/T 3606—2009 中5 . 1和5 . 2规定进行。
通过扣除阳离子质量分数总和的方法，计算得出高纯工业品三氯氧磷的纯度。
三氯氧磷的纯度 wi, 按式(1)计算：
style="width:4.39998in;height:0.69344in" /> (1)
GB/T 33336—2016
式中：
w;——6.5.5 中测定的各阳离子的质量分数，单位为微克每千克(μg/kg)。
在电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
上采用标准加入法测定试样中的各阳离子质量分数。
6.5.2.1 混合标准溶液 I:1mL 溶液含
Ag、Al、As、Ba、Ca、Cd、Co、Cr、Cu、Fe、Ga、K、Li、Mg、Mn、Na、
Ni、Pb、Sr、V、Zn各0.010 mg。
6.5.2.2 混合标准溶液Ⅱ:1 mL 溶液含 Au、Sb、Sn
各0.010 mg。
6.5.2.3 混合标准溶液Ⅲ:1 mL 溶液含 Nb、Ti、Bi
各0.010 mg。
6.5.2.4 单元素标准溶液IV:1mL 溶液含 Hg 0.010 mg。
6.5.3.1 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS
6.5.3.2 容量瓶：容积为100 mL,
材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)。
6.5.3.3 烧杯：容积为100 mL,
材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)。
6.5.3.4 移液枪：10μL～100μL,100μL～1000μL,1mL～5 mL。
6.5.3.5 超纯水净化器：带0.2 μm
终端过滤器，在线制备电导率(25 ℃)不大于0.0055 mS/m 的超 纯水。
6.5.4.1 试验溶液的制备
根据试样中所含阳离子浓度的不同，称取1 g～5g 试样，精确至0.0002
g,缓慢转移至装有约
80 mL 水的烧杯中，然后转移至100 mL(V₃) 容量瓶中，用水稀释至刻度，混匀。
6.5.4.2 工作曲线溶液的制备
用移液枪分别移取0.5 mL 混合标准溶液
I、混合标准溶液Ⅱ、混合标准溶液Ⅲ和单元素标准溶液 IV,置于100 mL
容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。该标准溶液现用现配，1 mL
溶液中含阳离子各
用移液管移取六份10 mL(V₂) 试验溶液，分别置于六个100 mL(V,)
容量瓶中，再用适合的移液枪 准确移取0.00 mL、0.025 mL、0.05 mL、0.10
mL、0.20 mL、0.40mL标准溶液(标准溶液加入量也可根
据元素含量的不同，区别加入),分别置于上述容量瓶中，用水稀释至刻度，摇匀。
6.5.4.3 测定
按电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
操作规程打开仪器，待仪器处于稳定状态后，以水为空白，对
工作曲线溶液进行测定，以被测各阳离子浓度为横坐标，对应的响应值为纵坐标绘制工作曲线。将曲线
反向延长与横坐标相交，交点即为被测阳离子的浓度(μg/L)。
本标准中所测阳离子元素的同位素相对原子质量见表2。
GB/T 33336—2016
表 2 离子元素的同位素相对原子质量
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阳离子质量分数以w, 计，数值以μg/kg 表示，按式(2)计算：
style="width:3.18002in;height:0.6732in" /> ………………………… (2)
式 中 ：
p.—
由工作曲线上查得的所取试验溶液中各被测阳离子浓度的数值，单位为微克每升(μg/L);
V₁— 配制工作曲线溶液的体积的数值，单位为升(L);
m — 试料质量的数值，单位为克(g);
V₂— 移取试验溶液的体积的数值，单位为毫升(mL);
V₃—— 试验溶液的体积的数值，单位为毫升(mL)。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值不得超过算术平均值
的 3 0 % 。
按一定的比例将氯铂酸钾、氯化钴和盐酸配成水溶液(铂-钴标准溶液),所得溶液的色调与待测样
品的色调在多数情况下是相近的，用目视法比较样品与铂-钴标准溶液，可得出样品的色度。
6.6.2.1 盐酸。
6.6.2.2 六水合氯化钴。
GB/T 33336—2016
6.6.2.3 氯铂酸钾。
6.6.2.4 500 APHA 单位铂-钴标准溶液。准确称取1 .000
g 六水合氯化钴、1.245 g 氯铂酸钾， 置于250 mL 烧杯中，用100 mL
盐酸和适量水溶解，全部转移至1000 mL 容量瓶中。用水稀释至刻
度，摇匀。称量前应按附录 A
规定的方法测定六水合氯化钴和氯铂酸钾的含量，如含量不足100%,称
量时应根据含量的测定结果对称取的量做相应的修正。用1cm
的比色皿，以水为参比用分光光度计按
表3规定的波长测定溶液的吸光度，其值应在表3所列范围之内。
表 3 500 APHA 单位铂-钴标准液吸光度允许范围
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500 APHA
单位铂-钴标准溶液置于具塞棕色瓶中，避光密封保存。有效期为1年。如超过有效
期，溶液的吸光度仍在表3所列的范围之内还可继续使用。
6.6.2.5
铂-钴标准工作溶液。此溶液应在使用前配制，按如下方法进行配制和计算：
——用移液管移取不同体积的500 APHA 单位铂-钴标准溶液，用蒸馏水稀释至100
mL, 可得不
同 APHA 单位的铂-钴标准工作溶液；
— — 配制100 mL 所需 APHA 单位铂-钴标准工作溶液，所移取500 APHA
单位铂-钴标准溶液的
体积V, 数 值 以mL 表示，按式(3)计算：
style="width:1.6199in;height:0.60016in" /> (3)
式中：
N—— 欲配制的铂-钴标准工作溶液的 APHA 单位数。
6.6.3.1 比色管：容积50 mL 或100 mL,
平底，在底部以上有刻度标记。 一套比色管的玻璃颜色和刻 线高度应相同。
6.6.3.2
比色管架：底部衬白色底板，也可安有反光镜，以提高观察颜色的效果。
向比色管中注入试样，注满到刻线处。同样向另一支比色管中注入具有类似颜色的铂-钴标准工作
溶液注满到刻线处。
比较试样与铂-钴标准工作溶液的颜色，比色时应在日光或日光灯照射下，正对白色背景，从上往下
观察，避免侧面观察。
试样溶液中的悬浮微粒(又称为尘埃粒子)通过液体粒子计数仪的光敏感区时，会产生光的散射现
象，其散射光的强度与微粒粒径成一定比例关系，经分析、计算、比较后显示不同粒径和粒子的数量。
GB/T 33336—2016
6.7.2.1 液体颗粒计数仪：精度0.2μm, 带除气泡装置。
6.7.2.2 广口瓶：容积为200 mL,
材质为四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)。
6.7.2.3 超纯水净化器：带0.2 μm
终端过滤器，在线制备电导率(25℃)不大于0.0055 mS/m 的超
纯水。
准确量取定量试样，静置30 min
以上，按照颗粒计数仪的操作手册打开电源，测试时先用水清洗管
路，再用试样清洗，然后抽取一定量的试样进入仪器分析，测出颗粒粒径≥0.3 μm
相对应的颗粒数。检
测样品时，通常将仪器测量次数设置为3次，最终的检测结果为3次测试数据的平均值。
7.1 本标准要求中规定的所有指标项目为出厂检验项目，应逐批检验。
7.2
生产企业用相同生产原料，基本相同的生产条件，连续生产或同一班组生产的同一级别的高纯工
业品三氯氧磷为一批。
7.3 按照GB/T 6678和 GB/T6680
的规定进行采样。采样在室温20℃左右的洁净室中进行，所取样 品应不少于300
g,混合均匀，分别装于两个清洁干燥的聚四氟乙烯瓶中，密封。瓶上粘贴标签，注明生
产厂名、产品名称、批号、等级、采样日期和采样者姓名。
一瓶用于检验，另一瓶保存备查。
7.4 采用GB/T 8170 规定的修约值比较法判定检验结果是否符合标准。
7.5
检验结果中如有指标不符合本标准要求时，应重新自两倍量的包装物中采取样品进行复验，复验
结果即使只有一项指标不符合本标准要求，判该批产品不合格。
8.1
高纯工业品三氯氧磷包装物上应有牢固清晰的标志，内容包括生产厂名、厂址、产品名称、级别、
"危险化学品"字样、净含量、批号或生产日期、本标准编号和 GB190
规定的"剧毒品"和"腐蚀性物品" 标志及GB/T 191规定的"向上"标志。标签应符合
GB15258 的规定。
8.2
每批出厂的高纯工业品三氯氧磷都应附有质量证明书。内容包括生产厂名、厂址、商标、产品名
称、净含量、级别、批号或生产日期，产品质量符合本标准的证明和本标准的编号。
9.1
高纯工业品三氯氧磷采用石英材质容器包装。容器置于有泡沫的木箱或塑料箱中。
9.2
高纯工业品三氯氧磷属危险化学品，运输过程中应按照危险货物运输规则的要求进行运输。
9.3
高纯工业品三氯氧磷应贮存在阴凉、干燥、通风良好的仓库内，远离火种、热源，应与还原剂、活性
金属粉末、醇类等分开存放，贮存区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
GB/T 33336—2016
(规范性附录)
六水合氯化钴、氯铂酸钾含量的测定方法
A.1 六水合氯化钴含量的测定
A.1.1 试剂和溶液
A. 1. 1. 1 氨-氯化铵缓冲溶液甲(pH≈10)。
A. 1. 1.2 乙二胺四乙酸二钠标准滴定溶液：c(EDTA)≈0.05 mol/L。
A. 1. 1.3 紫脲酸铵指示剂。
A. 1.2 分析步骤
称取约0.4 g 试样，精确至0.0001 g 。 置于250 mL 锥形瓶中，加50 mL
水溶解。用乙二胺四乙酸 二钠标准滴定溶液滴定至终点前约1 mL 时，加10 mL
氨-氯化铵缓冲溶液甲及0 .2g 紫脲酸铵指示
剂，继续滴定至溶液呈紫红色。
A.1.3 结果计算
六水合氯化钴的质量分数wi, 按 式(A. 1) 计算：
style="width:2.97989in;height:0.61336in" /> …… ………………… (A.1)
式中：
V— 乙二胺四乙酸二钠标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升(mL);
c — 乙二胺四乙酸二钠标准滴定溶液浓度的准确数值，单位为摩尔每升(mol/L);
M- 六水合氯化钴(CoCl2 · 6H₂O)
摩尔质量的数值，单位为克每摩尔(g/mol)(M=237.9);
m— 试样质量的数值，单位为克(g)。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值不大于0.2%。
A.2 氯铂酸钾含量的测定
A.2. 1 试剂和溶液
A.2. 1. 1 甲酸钠。
A.2. 1.2 硫酸溶液：1+3。
A.2. 1.3 氯化钡溶液：100 g/L。
A.2. 1.4 盐酸溶液：c(HCl)≈0. 1 mol/L。
A.2.2 仪器和设备
高温炉：温度能控制在800℃±25℃。
A.2.3 分析步骤
称取约0 . 5g 试样，精确至0.0001 g 。用170 mL 硫酸溶液加热溶解，加2g
甲酸钠，于电炉上煮沸
GB/T 33336—2016
至反应完全，上层溶液澄清(可不断补充水保持溶液体积不变)。冷却后，加入130
mL 水，搅匀。用慢
速定量滤纸过滤，用热盐酸溶液洗至滤液无硫酸盐反应(取10 mL 滤液，加2 mL
氯化钡溶液，不应出现
混浊)。将沉淀置于已在800℃下灼烧至质量恒定的坩埚中，再于800
℃下灼烧至质量恒定。
A.2.4 结果计算
氯铂酸钾含量的质量分数w₃, 按式(A.2) 计算：
style="width:3.12653in;height:0.63338in" /> … … … … … … … … … …(A.2)
式中：
mi —- 沉淀质量的数值，单位为克(g);
m —— 试样质量的数值，单位为克(g);
2.491— 将沉淀质量的数值换算为氯铂酸钾的系数。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值不大于0.2%。
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